1、※传感器: 传感器：电阻式传感器、变频功率传感器、称重传感器、电阻应变式传感器、压阻式传感器、热电阻传感器、激光传感器、霍尔传感器、温度传感器、加速度传感器、无线温度传感器、智能传感器、光敏传感器、生物传感器、视觉传感器、电导传感器、位移传感器；压力传感器、超声波测距离传感器、24GHz雷达传感器、一体化温度传感器、液位传感器、真空度传感器、电容式物位传感器、锑电极酸度传感器、酸、碱、盐浓度传感器等； 2、应用于各类智能仪器仪表：测试测量、变送器、流量计、安全产品、编码器制造商；嵌入式硬件、应用软件、嵌入系统解决方案，消费电子、安防电子、生物医疗、汽车电子、智能家居、智能制造与机器人、智慧农业等应用。 3、传感器系统和传感器测试设备、封装、集成元器件以及传感器相关的研发技术等； ※微系统MEMS: 1、MEMS器件:光学MEMS、射频MEMS、MEMS传感器、加速度计、陀螺仪、磁力计、电子罗盘、硅麦克风、MEMS微镜、MEMS惯性测量单元、BAW滤波器和双工器、微射流、微流引导等； 2、MEMS执行器：生物芯片、材料芯片、灯、泵、微流控芯片、EMS电池，微发电机等、 3、生物/化学MEMS：DNA/RNA技术，化学检测等、MEMS晶振； 4、高复合型MEMS：CMOS/MEMS,LSI/MEMS一体化、MEMSIP等； 5、MEMS应用：MEMS传感器解决方案、麦克风,显示等、超微型机械人装置、微型工厂等、传感器网络、能量收集等； 6、生物MEMS与医疗应用：MEMS技术在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊；尖端DNA&RNA技术、微反应器、微流引导、微流控芯片等； 7、MEMS加工设备：光刻设备、镀膜设备、沉积设备、刻蚀设备、清洗设备设备、晶圆片键合； 8、MEMS代工/封测：MEMS中式平台；设计、原型测试、产品开发、量产；其他代工服务：图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀；封装：MEMS封装、装配、分析测试和校准等； 9、NEMS系统：机械，热和磁传感器和执行器，以及系统、光机械微器件和微系统、流体微组件和微系统、数据存储的微装置、微生物医学工程、微化学分析系统、微装置和系统的无线通信、用于电源和能量收集的微型设备、纳米机电装置和系统科学仪器等；